ジルコニア砥粒を用いたガラス研磨における研磨特性の改善

抄録

酸化セリウム砥粒の代替砥粒として酸化ジルコニウム砥粒が注目されているが、酸化セリウム程の高い研磨特性を示さないため、代替は困難となっている。これまでの研究によりジルコニアの表面形状をコントロールすることで、良い仕上げ面粗さの得られるジルコニア砥粒の開発に成功した。本研究では更なる研磨能率の向上の為、種々の添加剤を検討し、それぞれの研磨特性について評価した結果を報告する。