ガラス系材料用研磨スラリーの分散・凝集状態と各種研磨パッドの表面状態の相互作用と研磨能率への影響について

抄録

前回の報告は研磨スラリーの分散・凝集状態と研磨パッド表面粗さの一部パラメータによる研磨能率への影響を確認したが，パッド表面粗さが表面加工条件のほかに，研磨パッド自体の材質，物性，気孔などの構造にも影響されるので，これらの影響因子の作用を解明すべく，今回は複数種類の研磨パッドを対象に，スラリーの分散・凝集状態とそれぞれの表面粗さの相互作用及び影響を調査し，主な影響因子を見出す試みの結果を報告する。