複合砥粒における滞留性改善粒子の添加効果

抄録

ガラス研磨における酸化セリウムの使用量削減技術として、酸化セリウムとポリマ粒子から構成される複合砥粒の開発を行ってきた。複合砥粒は従来砥粒と比較し、洗浄性や分散性に優れている。本研究では研磨特性を向上させる手段として，加工域での複合砥粒の移動を抑制する滞留性改善粒子の添加を行った。複合砥粒と滞留性改善粒子の効果について、濃度や研磨パッドの表面状態から受ける影響について検討を行ったので、報告する。