多孔質エポキシパッドによる各種工作物の研磨特性

抄録

多孔質エポキシ樹脂研磨パッドは砥粒の保持力に優れており，これをガラスの鏡面研磨に用いることで，従来の研磨パッドに比べ，優れた研磨特性が得られることがわかっている．本研究では，エポキシ樹脂研磨パッドをSi等のガラス以外の工作物に適用することで，これらの材料の研磨特性の向上を図った．その結果，従来の研磨パッドと比較し，到達仕上げ面粗さが改善され，かつそれに達するまでの時間が短縮できることがわかった．