薄膜ネオジム磁石を用いたマイクロリニアモータ

第２報　薄膜磁石の多分割着磁と案内の低摩擦化

抄録

焼結ネオジム磁石を超える保磁力や残留磁束密度，耐熱性を有する，高性能な薄膜ネオジム磁石が研究開発されている．本研究では，薄膜ネオジム磁石を用いたマイクロリニアモータの実現を目的としている．本報では，特に，薄膜磁石の多分割着磁による推進力の増加，案内のDLC膜による低摩擦化について検討した．また，試作したリニアモータを用いてフィードバック制御により位置決め制御を実施したので，報告する．