エポキシウレタンパッドによる温度特性改善の効果

抄録

筆者らが開発した多孔質エポキシ樹脂研磨パッドにより、従来の研磨パッドよりも高い研磨特性が得られている。本研究では、エポキシ樹脂にウレタン樹脂を共重合させたエポキシウレタンパッドを開発した。ウレタン樹脂を配合する事によりエポキシパッドの温度による物性変化を小さくする事が可能となった。また、エポキシウレタンパッドの研磨特性を評価し、エポキシパッドとの比較を行ったので報告する。