長尺材のエポキシ樹脂パッドによる研磨特性

餅田 正秋; 吉冨 健一郎; 宇根 篤暢

doi:10.11522/pscjspe.2012A.0.53.0

2012年度精密工学会秋季大会

セッションID: A38

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2012A.0.53.0

会議情報

主催: 公益社団法人精密工学会

長尺材のエポキシ樹脂パッドによる研磨特性

*餅田正秋, 吉冨健一郎, 宇根篤暢

著者情報

キーワード: ポリシング, 長尺材, 研磨パッド, エポキシ樹脂

会議録・要旨集フリー

詳細

抄録

マザーガラス板上へのパターン塗布用のノズルやステージなどに使用される長尺の素材表面を0.5μm/m以下の高い平坦度に高能率で研磨加工することが求められている．本報告では，ポリウレタン樹脂パッドに比べ研磨特性に優れているとされるエポキシ樹脂パッドを工具として，長尺材と同じ材質の円板試料を用いて，その加工特性を明らかにし，長尺材の研磨加工能率向上の可能性を検討した．

責任著者(Corresponding author)

J-STAGEへの登録はこちら（無料）