コンピュータを駆使した形状計測、Topogrametry（キーノートスピーチ）

抄録

三次元計測方法においてフーリエ縞解析、波長走査干渉、光CD計測の三種類の計測方法を紹介する。コンピュータはほとんどの計測方法でも使用していると考えるが、この三種類の方法では、より多くの情報を高精度に得るため、コンピュータを駆使していると考え、Topogrametry と言う単語を敢えて使用することとした。またこの三つの方法は半導体技術の発展の恩恵を受けた技術であるとも言える。