３波長干渉を用いた透明膜の膜厚分布測定装置の開発 広域モデル適合（GMF）アルゴリズムの拡張

北川 克一; 大槻 真左文

doi:10.11522/pscjspe.2012A.0.621.0

2012年度精密工学会秋季大会

セッションID: I17

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2012A.0.621.0

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主催: 公益社団法人精密工学会

３波長干渉を用いた透明膜の膜厚分布測定装置の開発

広域モデル適合（GMF）アルゴリズムの拡張

北川克一, *大槻真左文

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キーワード: 干渉計測, 透明膜, 膜厚分布, 3波長, 最小二乗法

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抄録

分光法に代表される従来の光学的膜厚測定法は，基本的に点計測であり，水平分解能も制限されている．我々は3波長ワンショット干渉法のために開発した広域モデル適合（GMF）アルゴリズムを拡張展開し，新しい原理の膜厚分布測定装置を開発した．3波長照明系とカラーカメラにより得られる1枚のカラー干渉画像から各画素の膜厚を推定する．高水平分解能・高速・校正不要という特徴がある．

責任著者(Corresponding author)

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