研磨液のpHが強誘電体単結晶のドメイン構造および研磨特性に及ぼす影響

抄録

圧電素子やキャパシターなどとして電気機械製品に使用されている強誘電体の圧電・誘電特性は，強誘電体中の微細構造組織であるドメイン構造に大きく依存する．本研究では，形状創成に用いる加工がドメイン構造に与える影響を明らかにするために，強誘電体であるマグネシウムニオブ酸・チタン酸鉛単結晶{001}面に研磨加工を施し，研磨液のpHがドメイン構造および研磨特性（研磨能率，表面粗さ）に及ぼす影響について調査を行った．