ナノ複合砥粒の一次粒子径とガラス研磨特性との関係

抄録

我々は、SrZrO₃/ZrO₂ナノ分散型複合砥粒のガラス研磨特性が比較的高いことを見出した。本研究では、ナノ分散状態が研磨特性に与える影響を調査するため、仮焼温度を800～1200℃とし一次粒子径を変化させ、研磨特性を評価した。その結果、仮焼温度1000℃で研磨速度が最大となった。1000℃までは砥粒の焼結による硬度の上昇によって研磨速度は向上したものの、1000℃以上では一次粒子の粗大化により、複合化の効果が小さくなったと考えられる。