研磨による無反りウエハの創成（第2報）

研磨熱によるはく離メカニズムの解明と揺動速度制御型塗布法

抄録

本研究では無反りウエハ創成技術の開発を進めている．本報では，研磨用冷凍ピンチャック上に塗布した冷凍液の凝固固着により石英基板を保持したさいの，研磨熱による石英基板のはく離メカニズムについて明らかにした．また，揺動速度制御型塗布法により冷凍液塗布実験を行い，最適揺動速度による塗布で冷凍液高さの均一性が向上し，等速揺動による塗布時よりも固着力が強いことを明らかにした．