ナノピペットを用いた静電インクジェットパターニングによるマスクリペア法の開発

抄録

FPD等のフォトマスクにおいて，サブミクロンサイズの欠陥を既存技術よりも低コストで修正が可能な代替手法が求められている．本研究では，金属微粒子を含むインクを充填したナノピペット（先端開口径サブマイクロメートルのキャピラリーガラス管）を用いた静電インクジェットによるサブミクロンサイズの堆積加工法を開発した．基板とピペット先端間の距離等の条件を最適化し，再現性の高い連続堆積を行う手法について報告する．