電解水を用いた導電性ラバーボンド砥石によるELID研削システムの開発 第1報 電解水生成装置付き研削液ノズルの検討

長谷川 勇治; 堀辺 忠志; 伊藤 伸英; 井出上 敬; 高橋 岐明; 大森 整; 加藤 照子

doi:10.11522/pscjspe.2012A.0.723.0

2012年度精密工学会秋季大会

セッションID: K03

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2012A.0.723.0

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主催: 公益社団法人精密工学会

電解水を用いた導電性ラバーボンド砥石によるELID研削システムの開発

第1報電解水生成装置付き研削液ノズルの検討

*長谷川勇治, 堀辺忠志, 伊藤伸英, 井出上敬, 高橋岐明, 大森整, 加藤照子

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キーワード: ELID研削, 導電性ラバーボンド砥石, 電解水, 酸化架橋, 表面改質　

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抄録

ELID研削法は固定砥粒による高効率・高品位加工が可能であり，産業界で活発に利用されている．近年，バイオ材料や半導体材料など金属コンタミネーションを考慮した研削技術が求められおり，ノンメタル砥石として導電性ラバーボンド砥石，重金属を含まない研削液として電解水を用いたELID研削技術の構築を進めている．

責任著者(Corresponding author)

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