UVアシスト研磨による整列ダイヤモンドホイールの精密ツルーイング法の開発

抄録

本実験では，整列配列したダイヤモンド砥石にUVアシスト研磨をした．研磨加工の際に，化学的な反応が発生し加工が促進された．精密ツルーイング法を開発するために，自作の研磨装置を用いて10mm角チップの基盤上に配列された単結晶ダイヤモンド砥粒のマイクロツルーイングを行い，外観観察や表面粗さ,砥粒の突き出し高さ測定し，ツルーイング法の良否を検討した.また，この工具を用いて硬脆材料の精密研削加工を行った．