ナノメータ研削加工用・PCD製マイクロ研削工具

抄録

ダイヤモンドの一次粒子径が4～6μmで工具の先端半径が0.1 mmの焼結ダイヤモンド製製研削工具に対し，半球状の砥石作用面上にあるダイヤモンド砥粒の先端を鋭利，あるいは平坦に成形できるツルーイング技術の開発を行った．