通信用MEMS ミラーデバイスに求められる加工制御性（キーノートスピーチ） 波長選択スイッチ用MEMS ミラーアレイモジュールの電気干渉低減

阪田 知巳; 碓氷 光男; 内山 真吾; 山口 城治; 小舘 淳一; 神 好人

doi:10.11522/pscjspe.2012A.0.755.0

2012年度精密工学会秋季大会

セッションID: K36

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2012A.0.755.0

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主催: 公益社団法人精密工学会

通信用MEMS ミラーデバイスに求められる加工制御性（キーノートスピーチ）

波長選択スイッチ用MEMS ミラーアレイモジュールの電気干渉低減

*阪田知巳, 碓氷光男, 内山真吾, 山口城治, 小舘淳一, 神好人

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抄録

本講演は，次世代全光通信ネットワークにおける再構成可能な光信号の分岐／挿入を行う多重化システム（ROADM）用の波長選択スイッチ（WSS）を構成するMEMSミラーアレイモジュールの電気干渉の低減に関する報告である．高アスペクト比の櫛歯型Si壁を有するMEMSミラーアレイチップと高アスペクト比の電界分離壁を有する駆動電極チップから成るMEMSミラーアレイモジュールは電気干渉の低減に有効であることを実証した．

責任著者(Corresponding author)

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