研磨パッド表面における微小面内変形特性の評価

畝田 道雄; 表 辰憲; 澁谷 和孝; 中村 由夫; 市川 大造; 石川 憲一

doi:10.11522/pscjspe.2012A.0.77.0

2012年度精密工学会秋季大会

セッションID: A68

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2012A.0.77.0

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主催: 公益社団法人精密工学会

研磨パッド表面における微小面内変形特性の評価

畝田道雄, *表辰憲, 澁谷和孝, 中村由夫, 市川大造, 石川憲一

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キーワード: ポリシング, デジタル画像相関法, ポリシングパッド, 微小面内変形

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抄録

本研究では，研磨パッドのコンディショニングに主眼を置いたパッド表面特性の評価を目的に，画像処理技術を応用したパッド表面における微小面内変形特性の定量評価手法を提案している．本報告では，各種パッドにおける収縮特性，並びにコンディショニング時における加工条件がパッド表面の微小面内変形特性に及ぼす影響に関して検討した結果を述べる．

責任著者(Corresponding author)

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