レーザ微細加工（キーノートスピーチ）

抄録

レーザによる微細加工は，マーキング，リソグラフィなど幅広く使われており，近年，スマートフォンの活況をうけプリント基板の穴あけをはじめ，さまざまな行程で幅広く使われている．そこで，著者らが行ってきた小径穴あけを中心として，穴あけに関する取り組みを概観した後，機械加工との比較をしながら加工に適した光源の探求について提案する．