ソリッドステップゲージ加工システムの開発

抄録

レーザ干渉計システムが普及している今日ではあるが、ステップゲージはCNC工作機械の位置決め精度をチェックするための現場用に有効な基準器である。とくにプロービング性能を要求されるCMMでは有力と言える。しかしながら現在市販されている組立型のものでは、その組立・調整に技能を必要とし、かつ取り扱いも難しい。一方一体型ではそうした欠点が無い反面、加工、製造が困難な問題があり、商業的にほとんど生産されていない。本研究ではその加工に特化した機上計測システムを組み込んだCNC研削システムを開発した。開発の結果、1mで1μｍ以下の累積誤差で一体型ステップゲージを加工できる見通しを得た。