一体成型したシリコン電極板を用いた薄型燃料電池

白金使用量削減のための電気化学的原子層堆積

抄録

MEMS技術を用いて，シリコン基板上に触媒層，拡散層，燃料流路を一体成型した薄型燃料電池の開発を進めている．多孔質白金を触媒として用いてきたため，白金の使用量が多く，削減する必要がある．そこで，白金よりも廉価な多孔質パラジウム層を形成し，このパラジウム表面上に原子層レベルで白金を堆積させることを試みた．本報では，UPD-SLRR法と呼ばれる電気化学的原子層堆積手法の適用を検討した．この結果，微量の白金堆積に成功した．