電子ビーム露光法によるロール上へのパターニングとロールナノインプリント特性

抄録

ナノインプリント技術において，より一層の効率化，低コスト化，大面積化をはかる技術展開としてローラ転写方式が注目されている．ローラ転写方式とはモールドを回転させ,連続した基板やフィルムにパターンを連続転写する方法である．本研究ではロールに電子ビーム露光法でパターンを描画し,その特性を検証した．