精密超音波接合に関する基礎的研究

第3報　接合装置に関する検討

抄録

薄板を精度良く超音波接合する技術に関して検討した。本報では、薄板をさまざまな形態で精密接合するための接合装置の構造に関して検討した。その結果、実用に近い装置を開発することができた。