局部傾斜角測定に基づく絶対表面形状測定装置の開発

抄録

フィゾー干渉計は，オプチカルフラットなどの表面形状を測定する場合，高精度な測定手法であるが，参照面との比較測定であり，絶対表面形状を得ることが難しい．三枚合わせ法により参照面の校正も可能であるが，重力による変形を検出できない問題がある．そこで，参照面を用いない表面の局部傾斜角度測定に基づく絶対表面形状測定装置を開発した．開発装置の性能を確認するための基礎的な測定データについて報告する．