絶対球面度測定における位相シフト干渉計の系統誤差

抄録

滑らかな物体表面の形状を測定する光波干渉計では、位相変調器の非線形性による系統誤差が支配的である。開口数の高い球面度の測定においては、口径周辺部でさらに位相変調量の空間的不均一が生じるため新たな系統誤差が生じる。これらの系統誤差は、物体の形状や光学系で発生する球面収差と類似の分布を持つため、定量的評価が難しい。今回、干渉計の初期位相をステップ状に変化させることでこの系統誤差の大きさの評価を行った。