法線ベクトル追跡型高速ナノ形状測定法における誤差解析

抄録

現在、民生品用の非球面レンズや、放射光やＥＵＶリソグラフィ用の高精度ミラーの形状を、数nm精度で測定する技術が必要となっている。本研究では、法線ベクトル追跡型高速ナノ形状測定法における測定の誤差要因の検討を行った。本測定法は４軸のゴニオメータと１軸の並進ステージを用いており、各軸固有の運動誤差と各軸間の相対関係にまつわる誤差が存在する。これら誤差が測定に与える影響を解析し、許容誤差について検討した。