大型非球面形状のナノメートル測定（第7報）

広測定範囲のオートコリメータを用いた非球面ミラーの測定

抄録

近年，大型の天体望遠鏡の開発が進むことにより大型の非球面ミラー，レンズの形状を高精度で計測することが要求されている．本研究では，角度センサを用いて走査しながら等間隔に角度測定を行い，データ処理を行うことによって球面，平面ミラーの形状を数nmの精度で計測することが可能になった．そこで本報では，広測定範囲のオートコリメータを用いて非球面ミラーの形状測定を行い計測手法の妥当性を確認する．