法線ベクトル検出型超精密形状測定装置による高精度ミラーの測定

松村 拓己; 北山 貴雄; 薄木 宏治; 小嶋 拓也; 沖田 賢哉; 奥田 晃平; 打越 純一; 中野 元博; 東 保男; 遠藤 勝義

doi:10.11522/pscjspe.2012A.0.955.0

2012年度精密工学会秋季大会

セッションID: N33

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2012A.0.955.0

会議情報

主催: 公益社団法人精密工学会

法線ベクトル検出型超精密形状測定装置による高精度ミラーの測定

*松村拓己, 北山貴雄, 薄木宏治, 小嶋拓也, 沖田賢哉, 奥田晃平, 打越純一, 中野元博, 東保男, 遠藤勝義

著者情報

キーワード: 形状測定装置, 法線ベクトル, 超精密ミラー, 非球面ミラー, 五軸同時制御

会議録・要旨集フリー

詳細

抄録

次世代高精度光学素子の製作には,形状誤差を1～0.1nmRMSの精度で自由曲面の形状を測定することが要求されている.そこで我々は,光の直進性を利用した新しい自由曲面形状測定法を提案し,その原理に基づいた法線ベクトル追跡型超精密形状測定装置を開発した.本測定法では,試料表面における法線ベクトルおよびその測定点座標から形状を求めることができる.本稿では,本測定装置による高精度ミラーの測定結果について報告する．

責任著者(Corresponding author)

J-STAGEへの登録はこちら（無料）