タングステン中空マイクロニードルの開発

電解エッチングによる溝加工とスパッタによる蓋形成

抄録

低侵襲医療用のマイクロニードルの開発を目指している．高い強度を持つタングステンを材料とし，電解エッチングで先鋭化を行うことによりタングステンニードルを作製した．先鋭化した先端は鋭く滑らかなので応力集中がおき，摩擦が低減されて穿刺しやすくなっている．また，タングステンニードルにエキシマレーザ加工と電解エッチングを用いて吸引用の穴加工を施した．試作針を用いて液体の吸引を行った．