超極細ワイヤを用いたマイクロ多針フィルタの研究（第2報）

座間 雄大; 本田 智

doi:10.11522/pscjspe.2012A.0.991.0

2012年度精密工学会秋季大会

セッションID: O45

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2012A.0.991.0

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主催: 公益社団法人精密工学会

超極細ワイヤを用いたマイクロ多針フィルタの研究（第2報）

*座間雄大, 本田智

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キーワード: 多孔質フィルタ, マイクロニードル, MEMS, 超極細ワイヤ, ポリウレタン被膜銅線, ナイロン線

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抄録

マイクロ多針フィルタとして，超極細ワイヤを用いたマイクロ多針ニードルを考案した．この多針ニードルは線径が165μｍのナイロン線を六角形の頂点に，また同径のポリウレタン被膜銅線を六角形の中心にくるようにワイヤを多数本束ね，樹脂で接合した後ナイロン線を除去することで，多数本のポリウレタン被膜銅線が垂直に立ったマイクロニードルを製作したもので，本報ではこの多針ニードルの構造と製作法について報告する．

責任著者(Corresponding author)

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