光学的な結像を用いた工具の位置検出に関する研究

（第２報）光学シミュレーションを用いた光学系の開口数に対する工具形状

抄録

エンドミルなどの工具の位置検出には接触式の検出が行われているが，マイクロ工具といった特殊な用途では，光学的な結像を用いた被接触の位置検出が行なわれていることもある．本報では，光学系の開口数に対する工具形状の光学シミュレーションした検討結果を報告する．