ピコ秒パルスレーザを用いた厚みの干渉計測

抄録

ピコ秒パルスレーザのパルス性および発振帯域幅の広がりのために生じる干渉縞のコントラスト変化を検出することにより、透明物体の厚みを測定する。本法では、labviewを用いて、ステージ、画像を処理し、測定するシステムを構築する。