内面計測用小型三次元プローブの開発（第5報）

光ファイバ・リングビームプローブの導入

抄録

内面形状計測の要求は，自動車や航空機分野にとどまらず，原子力発電から土木そして医療分野にまで広がっている。我々はリングビーム光源を導入した計測法を提案すると共に小型装置の開発を行ってきた。今回，小型円錐ミラー，光ファイバコリメータおよび光変調機能を搭載した半導体レーザを用いた光ファイバ・リングビームプローブを開発した。このプローブによる内面形状計測による新たな展開を報告する。