3波長干渉を用いた透明膜の膜厚分布測定

広域モデル適合アルゴリズムの応用展開

抄録

分光法に代表される従来の光学的膜厚測定法は、基本的に点計測であり、水平方向分解能も制限されている。我々は３波長ワンショット干渉法のために開発した広域モデル適合（GMF）アルゴリズムを展開し、膜厚分布測定法を開発した。３波長照明系とカラーカメラにより得られる干渉画像から膜厚を推定する。計算機実験と実サンプル測定により、提案手法の妥当性を確認した。単純な光学系で、高速な膜厚分布測定が可能である。