精密工学会学術講演会講演論文集
2012年度精密工学会春季大会
セッションID: M44
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投影方向に直交する空間的位相シフトによるしま投影形状測定法
*佐久間 秀夫
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抄録
しま投影による三次元形状測定法において,ワンショット画像からしま位相を解析するには空間的位相シフト法が有用である.ただし被測定物形状に応じてしま間隔が変化すれば測定誤差が生じる.一般にしま投影方向に沿って位相シフト法が適用されるが,本研究では投影方向と直交する方向に空間的位相シフトを与えた.この方法では投影条件によって決まる測定感度とは独立して位相シフト条件を設定でき,測定精度が改善される.
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© 2012 公益社団法人 精密工学会
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