MEMS静電駆動ミラーとPZT駆動ミラーの振動特性の温度依存の比較と評価およびスキャナへの応用

抄録

MEMSマイクロミラーは、その小ささから内視鏡や携帯プロジェクタなどへの応用が期待されている。しかし、低電圧駆動の可能なPZT駆動式では、振動特性が外気温に大きく依存しており応用の範囲が限られている。今回は静電式とPZT駆動方式の温度依存性と振動特性について評価を行い、応用に向けた考察を行う。