半導体レーザを集積したマイクロ・レーザ・ドップラ速度計の特性評価

山本 道貴; 日暮 栄治; 須賀 唯知; 澤田 廉士

doi:10.11522/pscjspe.2012S.0.1085.0

2012年度精密工学会春季大会

セッションID: N33

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2012S.0.1085.0

会議情報

主催: 公益社団法人精密工学会

半導体レーザを集積したマイクロ・レーザ・ドップラ速度計の特性評価

*山本道貴, 日暮栄治, 須賀唯知, 澤田廉士

著者情報

キーワード: レーザドップラー, 光マイクロセンサ

会議録・要旨集フリー

詳細

抄録

マイクロ・レーザ・ドップラ速度計（LDV: Laser Doppler Velocimeter）は，半導体レーザを集積した超小型構造（2.8×2.8×1.0 mm3）であり， 2光束干渉を利用する差動型である．マイクロLDVから出射するレーザビームの広がり角は，マイクロレンズにより半値全角2°以内にコリメートされており，交差角約48°で交差する．試作したリニアステージによりAuワイヤ（測定対象）を1.0μm/s～10mm/sの速度で動かし，方向検出と速度計測が可能であることを確認した．

責任著者(Corresponding author)

J-STAGEへの登録はこちら（無料）