MEMS用TiNi-SMA薄膜アクチュエータの設計手法の検討

西村 浩平; 槌谷 和義; 上辻 靖智

doi:10.11522/pscjspe.2012S.0.1095.0

2012年度精密工学会春季大会

セッションID: N39

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2012S.0.1095.0

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主催: 公益社団法人精密工学会

MEMS用TiNi-SMA薄膜アクチュエータの設計手法の検討

*西村浩平, 槌谷和義, 上辻靖智

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キーワード: 形状記憶合金, 有限要素法, 薄膜, アクチュエータ

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抄録

TiNi薄膜アクチュエータに形状記憶処理を施す際，外力を用いた変形では，薄膜に皺や破れ等の破損が考えられる．その対策として前報までに，膜面内の残留応力による自発的な変形発生手法，アクチュエータ設計での適切な因子選定及び，特定条件下での設計条件の最適化法を提案した．本報告では，膜面内の応力分布に応じた最適形状の変化を調査し，薄膜アクチュエータの設計手法について検討を行う．

責任著者(Corresponding author)

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