マイクロサポートピンのためのサンドブラスト加工シミュレーション法の開発

抄録

半導体製造装置でウエハを固定するピン（マイクロサポートピン）をサンドブラスト加工で製造したいニーズがある。所望の形状を得るには、シミュレーションの導入が不可欠だが、現在サンドブラスト加工をシミュレーションする適切な方法が存在しない。本研究では、流体解析ソフトとZmapモデルを組み合わせることにより、マイクロサポートピンを製造するためのサンドブラスト加工のシミュレーション法の基礎的機能を開発した。