PMN-PT単結晶を用いた超音波モータの極低温環境における特性評価

山口 大介; 神田 岳文; 鈴森 康一; 武田 大; 黒田 雅貴

doi:10.11522/pscjspe.2012S.0.1105.0

2012年度精密工学会春季大会

セッションID: O01

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2012S.0.1105.0

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主催: 公益社団法人精密工学会

PMN-PT単結晶を用いた超音波モータの極低温環境における特性評価

*山口大介, 神田岳文, 鈴森康一, 武田大, 黒田雅貴

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キーワード: 超音波モータ, アクチュエータ, 極低温, 振動子, 圧電材料, PMN-PT

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抄録

ボルト締めランジュバン型振動子を用いた極低温用超音波モータの試作・評価を行った．PZTと比較して極低温環境における圧電性の低下が小さい，マグネシウムニオブ酸チタン酸鉛(PMN-PT)単結晶を駆動源に使用している．超音波モータは，エンコーダ部を含め，最大幅30 mm，最大長38.7 mmである．室温から4.5 Kまで温度を変化させ，超音波モータの駆動評価を行った．

責任著者(Corresponding author)

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