セグメント構造ダイヤモンド状炭素膜を摩擦駆動面に用いた弾性表面波リニアモータ 第8報　SR-DLC膜の摩擦特性

石川 雄也; 中村 満; 高崎 正也; 高島 舞; 大竹 尚登; 水野 毅

doi:10.11522/pscjspe.2012S.0.1107.0

2012年度精密工学会春季大会

セッションID: O02

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2012S.0.1107.0

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主催: 公益社団法人精密工学会

セグメント構造ダイヤモンド状炭素膜を摩擦駆動面に用いた弾性表面波リニアモータ

第8報　SR-DLC膜の摩擦特性

*石川雄也, 中村満, 高崎正也, 高島舞, 大竹尚登, 水野毅

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キーワード: 超音波モータ, 弾性表面波, ダイヤモンド状炭素膜, セグメント構造ダイヤモンド状炭素膜

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抄録

超音波モータの一種である弾性表面波リニアモータは摩擦駆動という原理の性質上，摩擦駆動面において摩耗が問題となる．これまでに摩耗の改善のために耐摩耗材料であるセグメント構造ダイヤモンド状炭素膜が導入されている.前報では突起に曲率を有するSR-DLC膜の生成方法を提案したが，従来のモータと同等な推力が得られなかった．本報では摩擦係数の測定を行い，従来のモータと比較することで，その原因を考察した．

責任著者(Corresponding author)

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