超音波振動を用いた非接触チャックに関する研究

吸引力の発生について

抄録

超音波で振動する平面に物体を近づけると，物体に吸引力が働くことが知られている．本研究では，その吸引力の発生原因をCFDを用いて数値的に明らかにするとともに，実験的に確認を行った．