精密工学会学術講演会講演論文集
2012年度精密工学会春季大会
セッションID: O21
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超音波浮揚を利用した搬送装置の開発(第2報)
減衰機構による反射波の低減
*古谷 克司小野 政貴
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抄録
超音波浮揚とたわみ進行波を利用した非接触搬送法を提案し,プロトタイプで搬送特性を測定している.しかし,板端での反射波により,移動メカニズムの解析が複雑になった.本報では,すべての板端に減衰機構を取り付けることで反射波を低減した機構を用いて,移動特性を測定した.振動発生側のみの超音波振動子を駆動し,吸収側は駆動しなかった.供給電力は同程度であったが,搬送速度が半分程度まで低下した.
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© 2012 公益社団法人 精密工学会
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