位相回復法による回転体型軟Ｘ線集光ミラーの形状計測

光学設計と理論的検討

抄録

回転体型の軟Ｘ線集光ミラーは、その形状の複雑性から、現在、理想的なミラーの作製が困難であり、実用化されていない。その原因の一つは、回転体の内面の形状を測定できないためである。本研究では、回転楕円面の形状計測を目的に位相回復法を用いた形状測定法を提案する。本発表では、軟Ｘ線集光用の光学設計、および、位相回復法による形状測定法の理論的検討結果について報告する。