ノズル型EEM(Elastic Emission Machining) における加工特性の向上

抄録

ナノメートルの精度を有するミラー光学素子は、ナノ精度の加工と計測を複数回繰り返し作製されている。その中でも、EEMによる形状修正加工法は、優れた安定性からX線ミラーなどの作製に実際に使用されている。本研究では、EEMの中でもノズル型加工ヘッドによる加工特性の向上を目指している。本発表では、流体計算に基づき、流路構造、加工条件を変化させた時のスポット加工特性について報告する。