PtC/C多層膜を用いた硬X線集光用ミラーの反射率改善

金 章雨; 横山 光; 松山 智至; 佐野 泰久; 山内 和人

doi:10.11522/pscjspe.2012S.0.1155.0

2012年度精密工学会春季大会

セッションID: O36

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2012S.0.1155.0

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主催: 公益社団法人精密工学会

PtC/C多層膜を用いた硬X線集光用ミラーの反射率改善

*金章雨, 横山光, 松山智至, 佐野泰久, 山内和人

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キーワード: 多層膜, 白金－炭素, 界面粗さ, X線反射率, 硬X線用ミラー, DCマグネトロンスパッタリング

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抄録

X線顕微技術の性能向上を図る上で，高分解能，シグナルの増大の観点から集光光学素子の役割は非常に大きい．その中で多層膜集光ミラーは微細集光を実現する上で最も有効な集光光学素子である．現在Pt/C多層膜を用いて7nm集光が実現されている．しかし，反射率はまだ理論値に対して低く，改善する必要がある．我々は，相互拡散や結晶化による多層膜の界面粗さを低減させるために，Pt層にCを添加したPtC/C多層膜を作製し，評価を行った．

責任著者(Corresponding author)

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