放射光X線ミラーのための高精度非球面加工装置の開発

湯本 博勝; 松山 智至; 三村 秀和; 山内 和人; 大橋 治彦

doi:10.11522/pscjspe.2012S.0.1161.0

2012年度精密工学会春季大会

セッションID: O39

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2012S.0.1161.0

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主催: 公益社団法人精密工学会

放射光X線ミラーのための高精度非球面加工装置の開発

*湯本博勝, 松山智至, 三村秀和, 山内和人, 大橋治彦

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キーワード: 超精密加工, X線ミラー, X線光学素子, 非球面ミラー, シンクロトロン放射光

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抄録

放射光用ミラーの加工を目的とし，精密数値制御加工装置を新規に開発した．本加工は，遊離砥粒加工を部分的に行いつつ表面粗さを改善させ，加工ヘッドの数値制御で全体形状を作製するものである．単位加工痕幅1.0mm×0.17mmにより平面加工を行い，表面粗さについて加工前RMS1nmから加工後RMS0.2nmを達成し，PSD解析より空間波長数100μm～1μm領域の表面粗さの改善を確認した．さらに，数値制御加工により，線幅0.8mm，高さ14nmの構造の作製に成功した．

責任著者(Corresponding author)

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