大気圧プラズマを援用した反応焼結SiCの高精度加工（第1報）

プラズマCVMおよびプラズマ援用研磨の基礎加工特性

抄録

反応焼結SiCは、その優れた特性から、高温構造部材、耐摩耗部材や精密機械部材として広い分野で適用されている。モース硬度の高い難加工材料は、従来の機械加工技術では加工能率が低く、工具損耗が大きい。本研究では、数値制御プラズマCVMによる形状創成技術と、プラズマ援用研磨による表面仕上げ技術を組み合わせることにより、反応焼結SiCに対して高精度な形状創成プロセスの開発を目指す。