音響信号を利用した微細穴検査技術に関する研究

長洲 慶典; 江口 穫正; 風間 武; 工藤 誠一; 伊東 一典; 大谷 真; 坂上 榮松; 向山 健

doi:10.11522/pscjspe.2012S.0.149.0

2012年度精密工学会春季大会

セッションID: B47

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2012S.0.149.0

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主催: 公益社団法人精密工学会

音響信号を利用した微細穴検査技術に関する研究

*長洲慶典, 江口穫正, 風間武, 工藤誠一, 伊東一典, 大谷真, 坂上榮松, 向山健

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キーワード: 音響信号, 低周波, 音響抵抗, 穴径, 穴容積

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抄録

微細穴を有する製品の穴径と穴容積を音響信号を利用することにより検査する技術を開発した．本研究で対象となる製品は，プレス加工により穴径0.1mmでアスペクト比1以上の微細穴を有しており，気体を通過させる部品に使用され，通過する気体流量が穴径と穴容積に大きく依存する．そこで，微細穴を通過する音響信号を測定することで，穴径差0.005mmを測定時間0.5秒で検出することが可能となった．

責任著者(Corresponding author)

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