高応答研磨圧制御による機能性流体援用研磨

位置制御と力制御の切り替え可能な研磨加工機の開発

抄録

機能性流体や機能性ゲルを用いた電場/磁場援用研磨は，砥粒の動きを制御できる研磨技術として注目されている．電場/磁場援用研磨において，従来の研磨法と同様に研磨圧は大きく影響すると考えられるが，これに関して十分な検討はなされていない．本研究では，加速度制御系を設計し，位置と力を自在に切り替えることのできる研磨加工機を開発し，機能性流体援用研磨における研磨圧の影響について調べた．